- метод эпитаксии из паровой фазы
- vapor-phase epitaxial technique
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы — Химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений (анг. Metalorganic chemical vapour deposition) метод получения материалов, в том числе эпитаксиального роста полупроводников, путём термического разложения… … Википедия
плазменная металлургия — Неорганич. полупроводниковых вещ в и материалов и изделий из них с задан. св вами. Возникновение этого направления м. связано с изобретением в конце 1940 х гг. полупроводникового триода (транзистора). В н. в. класс полупроводниковых вещ в и… … Справочник технического переводчика